B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪是用于评测 pA 以下到 10 kV/1500 A 功率器件的一体化解决方案。 具有准确测量 10 µs 脉冲和 µΩ 导通电阻的能力。这些功能有助于评测 IGBT 等新器件以及 GaN 和 SiC 等新材料。
B1505A 支持多种模块：高压 SMU（HVSMU）、大电流 SMU（HCSMU）、超高电流（UHC）模块、超高压（UHV）模块和高压中电流（HVMC）模块。 B1505A 还支持大功率 SMU（1 A/200 V）、中功率 SMU（100 mA/100 V）、中电流 SMU（1 A/30 V 脉冲、100 mA/30 V 直流）和多频电容测量单元（1 kHz 至 5 MHz）。 其 10 插槽模块化主机让您能够灵活配置 B1505A，更好地满足测量需求。
它还可以在高压偏置（高达 3000 V）条件下执行 Ciss、Coss 和 Crss 等全自动电容测量，并可以轻松评测栅极电荷，后者是这个高频开关转换器时代的另一个重要参数。 还支持 -50 ℃ 到 +250 ℃ 的自动热表征。
在各种工作条件下都能执行准确的测量
· 一体化解决方案可以表征高达 1500 A 和 10 kV 的功率器件
· 可在高压偏置下进行中档电流测量（例如 1200 V 时为 500 mA）
· μΩ 导通电阻测量能力
· 在高压偏置下进行准确的皮安级以下电流测量
· -50 ℃ 至 +250 ℃ 全自动热测试
广泛的器件评测功能
· 在高达 3000 V 直流偏置下进行全自动电容（Ciss、Coss、Crss 等）测量
· 最短 10 μs 的大功率脉冲测量
· 封装器件和晶圆上 IGBT/FET 栅极电荷测量
· 用于表征 GaN 电流崩塌效应的高压/大电流快速开关选件
· 多达五个高压（3 kV）源表通道，极大地提高灵活性
· 通过配有互锁装置的测试夹具进行安全的温度相关测试
测量效率更高
· 无需重新连接线缆即可在高压测量和大电流测量之间切换
· 自动形成测试电路，用于测试封装器件和晶圆上器件的晶体管结电容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）
· 标配配有互锁装置的测试夹具，用于安全地测试封装功率器件
· 有支持和安全保障的晶圆上大功率测试，电流超过 200 A，电压高达 10 kV
· 示波器视图使您可以验证所输入的电压和电流波形
· 在 MS Windows 环境中运行的 EasyEXPERT 软件有助于改善数据管理和分析
可升级和可扩展的硬件体系结构
· 多种测量模块可供选择
· 支持多达 6 个引脚的大功率器件
模块选型指南
测量资源 | 所需模块/扩展器 | 所需插槽 | 最大配置 | 主要技术指标 |
大功率 SMU（HPSMU） | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高达 200 V，1 A 电力 10 fA 电流测量分辨率 |
中功率 SMU（MPSMU） | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高达 100 V，100 mA 电力，10 fA 电流测量分辨率 |
大电流 SMU（HCSMU） | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V（脉冲）；1 A/40 V（直流）*1 |
高压 SMU（HVSMU） | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA；（脉冲和直流） |
中电流 SMU（MCSMU） | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V（脉冲）；100 mA/30 V（直流） |
多频电容测量单元（MFCMU） | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz。 0 至 ±25 V，使用 MFCMU 内部直流偏置 |
高压中电流单元（HVMCU） | N1266A HVSMU 电流扩展器， | 4 - 6 | 1 | ±1500 V/2.5 A（脉冲），±2200 V/1.1 A（脉冲） |
超大电流单元（UHCU） | N1265A 超大电流扩展器/夹具 | 2 - 4 | 1 | 1500 A/60 V（脉冲），22.5 kW 峰值功率， |
超高电压单元（UHVU） | N1268A 超高压扩展器 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA（直流），10 kV/20 mA（脉冲） |
*1. 结合使用两个 HCSMU 和双 HCSMU 组合适配器，可将电流范围扩大到 40 A/20 V（脉冲）和 2 A/40 V（直流）。