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Keysight B1500A半导体参数分析仪
主要特征

1. 可以在 CV 和 IV 测量之间快速切换,无需重新连接线缆

2. 能够捕获其他传统测试仪器无法捕获的超快速瞬态现象。

3. 能够检测 1 kHz 至 5 MHz 范围内的多频交流电容测量值。

4. 配有直观的 15 英寸触摸屏界面,无需借助外部的个人电脑,即可进行数据分析。

5. 一台 B1500A 主机中拥有多达 10 个插槽,您可以灵活选择为其配备的测量模块。

6. 使用界面直观的 Keysight EasyEXPERT group+ 软件,享受 15 英寸宽触摸屏的便捷体验。

7. 随时可以使用的应用程序库

Keysight B1500A半导体参数分析仪
产品概述
产品规格参数

Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪是一款拥有 IV、CV 和快速脉冲 IV 等丰富测量功能的综合型器件表征解决方案,测量可靠性非常高。机和插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。 B1500A 半导体参数分析仪的模块化体系结构使其可以根据需要灵活升级。

器件类型

应用测试

CMOS 晶体管

Id-Vg、Id-Vd、Vth、击穿、电容和 QSCV

双极晶体管

Ic-Vc、二极管、Gummel 曲线图、击穿和电容等 

分立器件

Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二极管等

内存

Vth、电容、耐久性测试

功率器件

脉冲 Id-Vg、脉冲 Id-Vd、击穿

纳米器件

电阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc

可靠性测试

NBTI/PBTI、电荷泵、电迁移、热载流子注入、斜坡电流(J-Ramp)、TDDB 等

EasyEXPERT group+ 提供强大功能

测量功能

阶状扫描、多通道扫描、脉冲扫描、IV 采样、高速 IV 采样、CV、C-t、C-f 等

开关矩阵控制

支持 B2200、B2201 和 E5250(E5252 卡)

分析和数据显示功能

列表显示、X-Y 图(包括游标、光标和线)、自动分析功能、用户功能等 

数据管理

用户工作区管理,自动记录功能让您可以保存/调用测量数据和设置


1. 最多可用插槽数目:10个

2. 最大吸收电流:4.2 A

3. 测试软件带PC端版本,支持离线分析,且支持多个用户,便于管理

4. Windows操作系统,15英寸以上触摸屏,图形化界面,可远程控制

5. 内置驱动库,可用多种语言编程控制

6. B1510A 大功率源表模块(HPSMU):高达 200 V/1 A,最小分辨率 10 fA/2 μV

7. B1511B 中等功率源表模块(MPSMU):高达 100 V/0.1 A,最小分辨率 10 fA/0.5 μV,ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换

8. B1517A 高分辨率源表模块(HRSMU):高达 100 V/0.1 A,最小分辨率 1 fA/0.5 μV,ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换

9. B1514A 50 µs 脉冲中等 电流源表模块(MCSMU):高达 30 V/1 A(0.1 A 直流)

10. B1520A 多频率电容测量 单元(MFCMU):频率范围为 1 kHz 至 5 MHz,SMU 和 SCUU 提供 25 V 内置直流偏置和 100 V 直流偏置

11. B1530A 波形发生器/快速 测量单元(WGFMU):用于波形生成的 10 ns 可编程分辨率,200 MSa/s 同时高速测量,10 V 峰峰值输出

12. B1525A 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU):高达 ±40 V 高电压输出

13. B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案,最小选通脉宽 10 ns,上升和下降时间为 2 ns,1 µs 电流测量分辨率