TS150-HP
主要特征
1、专为高功率器件测量及多样化应用场景设计，包括器件特性分析与建模、晶圆级可靠性测试、失效分析、集成电路工程及微机电系统
2、独创气浮载物台控制系统，支持单手快速操作
3、刚性平台最多可搭载10个高压或4个大电流针座
4、配备电磁屏蔽暗箱和ArcShieldTM防弧平台，保障高压应用安全
5、三重定位平台升降设计（接触/分离/装载位），实现高重复性操作
