硅光探针台系统
主要特征
1、专为硅光子晶圆测试设计
配备多种高精度光纤对准系统选项，支持超快速扫描流程
支持光-光（O-O）、光-电（O-E）、电-光（E-O）及电-电（E-E）器件配置的多重测量能力
集成Z轴传感技术，精准探测光纤与晶圆的接触点
双光纤臂配置下的碰撞保护机制
工作温度范围覆盖-60°C至300°C
可选配暗箱组件，实现全光密闭环境测试
2、系统兼容性
手动系列：TS150-AIT、TS200-THZ、TS200-IFE、TS300-THZ及TS300-IFE
200毫米晶圆：TS2000-IFE与TS2000-SE
300毫米晶圆：TS3000、TS3000-IFE、TS3000-SE、TS3500、TS3500-IFE及TS3500-SE
