TS2000-SE
主要特征
1、两种Wafer loading方式:常规前端和业内首创的侧面单片自动loading
2、侧面自动单片装载装置
非常简单的上下片操作,可以实现4寸、6寸、8寸单片的自动上下片;
可以实现在任何温度(-60℃至300℃)下的自动上下片,大大提高测试效率和安全性
3、Safety Test Management (STM™):安全测试系统
可以防止在测试过程中任何门的打开
Chuck温度在零下时,任何情况下,任何系统门都不可能意外打开
4、应用场景:
建模:DC-IV、DC-CV、P-IV、ESD、1/f
RF 和 mmW测试:支持26GHz至110GHz及更高频段的射频测试
晶圆可靠性测试:高温/低温/长期测试
失效分析 - 探针卡/节点间探测
5、MPI ShielDEnvironment™ 精准测量环境
专为先进EMI / RFI / Light-Tight Shielding屏蔽技术设计
fA级低漏电性能
支持-60°C至300°C温控范围


