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TS2000-SE
主要特征

1、两种Wafer loading方式:常规前端和业内首创的侧面单片自动loading

2、侧面自动单片装载装置

    非常简单的上下片操作,可以实现4寸、6寸、8寸单片的自动上下片;

    可以实现在任何温度(-60℃至300℃)下的自动上下片,大大提高测试效率和安全性

3、Safety Test Management (STM™):安全测试系统

    可以防止在测试过程中任何门的打开

    Chuck温度在零下时,任何情况下,任何系统门都不可能意外打开

4、应用场景:

    建模:DC-IV、DC-CV、P-IV、ESD、1/f

    RF 和 mmW测试:支持26GHz至110GHz及更高频段的射频测试

    晶圆可靠性测试:高温/低温/长期测试

    失效分析 - 探针卡/节点间探测

5、MPI ShielDEnvironment™ 精准测量环境

    专为先进EMI / RFI / Light-Tight Shielding屏蔽技术设计

    fA级低漏电性能

    支持-60°C至300°C温控范围

TS2000-SE
产品概述
产品规格参数

200mm半自动探针系统,用于精确可靠的直流/电容电压、射频及毫米波测量

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