1、高电压/ 电流范围:直流范围高达200V/1A,偏移电流低至100fA
2、多通道输出:输出通道数量多,最多可支持132 通道
3、标准GPIB 接口:标准GPIB 接口控制,兼容多种控制命令
4、自动化连接控制:通过可编程的开关阵列,实现了在有限的量测设备资源和多个待测器件之间建立可自动切换的连接通路
5、高效测试:通过程序控制实现自动化切换,显著提升整体测试效率
6、并行驱动:支持将单个量测单元连接到多个测试输出,实现多路同时驱动的连接效果
7、应用:晶圆级器件自动化测试
阵列器件自动切换测试
FS821 低漏电矩阵开关是概伦电子推出的一款通过矩阵配置实现低漏电流传导的测试辅助设备,主要在半导体器件测试中用于分配测试信号和采集被测芯片输出信号。通过可编程的开关阵列,支持在有限的量测设备资源和多个待测器件之间建立可自动切换的连接通路,从而降低更改器件连线所带来的人力消耗和测试环境不稳定性,提高测试效率。该矩阵开关还支持将单个量测单元连接到多个测试输出,实现多路同时驱动的连接效果,或用于驱动可寻址器件,通常应用于自动化测试和阵列器件测试场景。
概伦FS821 低漏电矩阵开关性能卓越,支持最大200V/1A 直流范围,偏移电流可降至100fA。其先进的设计可与常见的半导体参数分析仪无缝搭配,满足各类器件研究、高精度测试和自动化测试需求。
1、输入接口
I-V 接口:8 个三同轴输入
AUX 接口:4 个同轴输入
2、输出接口
单个矩阵板卡12 个三同轴输出
3、I-V 接口
最大负载电压200V
最大负载电流1A
典型偏移电流低至100fA
4、通道间串扰电容
I-V 接口:小于1pF/ 通道
AUX 接口:小于3pF/ 通道
5、通道隔离阻抗
I-V 接口:1×1014Ω
AUX 接口:1×109Ω
AUX 接口3dB 带宽可达30MHz


