HED-W5300D 全自动晶圆ESD测试仪
产品概述
产品规格参数
低成本高性能晶圆ESD测试仪，从LED到系统LSI的大口径Wafer，可适用于HBM和MM的放电 ESD印加后，可根据漏电流测试判断pass/fail 并且可以与ESD测试有关联性的TLP测试设备进行组合测试 对ESD测试中发生问题的器件，能有效取得保护电路中的工作参数，是满足日本、国际标准的高可靠性设备(满足JEITA/ESDA/JEDEC规格)。
1、全球唯一一款可测试300mm晶圆的wafer level全自动静电测试机台。
2、HBM波形满足JS-001，JEDEC，ESDA，AEC，JEITA以及GJB等全球所有静电测试规范。
3、全球半导体晶圆制造Leading company青睐机台，该系列产品在全球范围广泛使用。
4、HBM波形在晶圆级实时捕获。
5、可选HMM zap测试(IEC 61000-4-2)。