1、掌控高品质标准

     配备自动对焦技术，确保成像清晰，提升检测速度与准确度。

     透过自适应教导功能(Auto-Train Teaching)，可优化检测品质，降低误检与漏检风险。

     透过高穿透性光源，检测晶圆內部的微小裂缝及缺陷，实现非破坏性检测。

2、提升生成效率

     同步检测正背面，减少上下料次数，提升检测效率与产品质量，优化整体生成流程的自动化水平。

     统一标准配备两台高性能分散式运算电脑，可依照需求增加更多设计资源，帮助您快速处理高负载检测需求。

3、降低生产成本

     AI驱动的缺陷识别功能，能自动检测结果并进行智能修正，降低人力成本。

     自动合并正背面与多倍率结果，生成一致性报告，减少人工操作需求与潜在误差。

4、应用范围

     瑕疵检测（2D、3D）、光源应用（可见光、IR光、UV光）、材料应用（Si、GaAs、GaN、EEL）。